二氧化氮MEMS气体传感器是一款利用MEMS工艺生产,并采用微型化设计的气体检测仪器,仪器具有体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短等特点,表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。二氧化氮MEMS气体传感器所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料,对二氧化氮气体的灵敏度高,测量结果准确,该二氧化氮传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与二氧化氮气体浓度相对应的输出信号。
检测气体:二氧化氮
二氧化氮测量范围:0-10000ppm
二氧化氮测量灵敏度S:RO/RS≥2
二氧化氮浓度斜率a:≤0.9
标准测试电路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V
回路电压Vc:≤24V DC
加热电压VH:2.8士0.1V AVorDC
负载电阻RL:可调
加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)
加热功耗PH:≤80mW
敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ
温度:20°C士2°C
湿度:55%RH土5%RH
2022-05
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2022-05
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2022-04
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