硫化氢MEMS气体传感器
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添加时间:2022-06-01 13:32:35

产品介绍:

硫化氢MEMS气体传感器是一款采用MEMS生产工艺来检测大气环境中硫化氢气体浓度的气体检测仪器。硫化氢MEMS气体传感器在SI基衬底上利用MEMS工艺制作微热板,采用在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料,对硫化氢气体灵敏度高,响应速度快。当环境空气中有硫化氢气体存在时,传感器电导率会发生变化,该气体的浓度越高,硫化氢传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与硫化氢气体浓度相对应的输出信号。

产品特点:

1、微型化设计

产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短,表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,形成微传感器阵列、微执行器阵列。

3、高/低温工作适应性好

产品功耗低,工作时基本没有热辐射,不影响周边温度湿度检测。

产品参数:

检测气体:硫化氢

检测范围:0-3ppm

回路电压Vc:≤24V DC

加热电压VH:2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL:可调

加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH:≤80mW

敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ

灵敏度S:RO/RS≥2

浓度斜率a:≤0.9

温度:20°C士2°C

湿度:55%RH土5%RH

标准测试电路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V

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