您当前的位置: >网站首页 >新闻资讯 >行业资讯
MEMS气体传感器类型有哪些
浏览:
添加时间:2019-02-26 14:15:29

在物联网的推动下,气体传感器的应用日益广泛,逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。其中,具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料的气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测。

MEMS技术的进步,为气体传感器的集成化提供了坚实的基础,毋庸置疑,基于MEMS的设计方案将成为未来气体传感器的主要发展方向之一。

目前,市场上以单晶硅材料为衬底,非硅材料为敏感层的MEMS气体传感器最为常见,今天工采网小编就给大家介绍一下市场上常见的MEMS气体传感器类型。

MEMS气体传感器.png

1、MEMS电导型气敏传感器

MEMS电导型气敏传感器的敏感材料是金属氧化物半导体或导电聚合物,使用最多的金属氧化物半导体是二氧化锡,其次是二氧化钛、氧化锌等。为提高气敏传感器灵敏度和选择性,往往会向金属氧化物中加入催化剂,如铂、钯等贵金属或合适的金属氧化物。

当敏感材料暴露于被测气体中,气体会与它们发生反应,引起电导率或电阻率的变化,产生的电信号经过信号处理后,输出为可识别气体成分或气体浓度的信号。

MEMS金属氧化物半导体气敏传感器采用微电子技术的成膜工艺在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层,利用敏感层下的电阻做加热器,利用二极管做测温元件,必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。

2、MEMS固体电解质气敏传感器

固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种,电流型的灵敏度高,测量范围大,温漂小。但它的输出电流和敏感性能与电极尺寸关系密切。传统的烧结体型器件难于控制电极尺寸,因而输出的电流和敏感性能也难于控制。由于MEMS技术制作的器件电机尺寸精度高,因而MEMS固体电解质电流型气敏传感器性能优异。

MEMS气体传感器的优势

(1)微型化:MEMS器件体积小,重量轻、耗能低。同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器的敏感程度。

(2)集成化:一般来说,单颗 MEMS往往在封装机械传感器的同时,还会集成ASIC芯片,控制 MEMS芯片以及转换模拟量为数字量输出。同时不同的封装工艺可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。

(4)多学科交叉: MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。


相关内容

14

2022-06

乙醇MEMS气体传感器

产品描述:乙醇MEMS气体传感器是精讯畅通利用MEMS工艺来检测空气中乙醇气体浓度而研发的一款气体传感器。乙醇MEMS气体传感器采用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气

08

2022-06

氟利昂MEMS气体传感器

产品介绍:氟利昂MEMS气体传感器是精讯畅通根据MEMS生产工艺,并主要用于检测空气中氟利昂气体浓度的一款气体检测仪器。氟利昂MEMS气体传感器所使用的气敏材料是对氟利昂灵敏度高的金属氧化物半导体材

02

2022-06

MEMS传感器是什么?

MEMS介绍:MEMS实际上是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)的简称,微机电系统是指可批量制作的一款将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制

01

2022-06

硫化氢MEMS气体传感器

产品介绍:硫化氢MEMS气体传感器是一款采用MEMS生产工艺来检测大气环境中硫化氢气体浓度的气体检测仪器。硫化氢MEMS气体传感器在SI基衬底上利用MEMS工艺制作微热板,采用在清洁空气中电导率较低

26

2022-05

氢气MEMS气体传感器

产品介绍:氢气MEMS气体传感器是一款采用MEMS工艺并用于检测环境中氢气气体浓度的气体检测仪器,具有材质优质、响应快速、紧密加工、稳定性好、抗震性好、寿命长久等特点。氢气MEMS气体传感器所使用的

联系方式

CONTACT US

    气体传感器厂家-精讯畅通

  • 电 话:0631-3792682
  • 手机:191 0631 7877
  • 邮政编码:264200

关注微信

友情链接:

可燃气体传感器 电化学气体传感器 气体传感器
   

       191-0631-7877

厂家直销    价格优惠