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MEMS传感器是什么?
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添加时间:2022-06-02 12:58:07

MEMS介绍:

MEMS实际上是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)的简称,微机电系统是指可批量制作的一款将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。大家可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料,用微米技术在高性能芯片上制造微型机械,并将其与对应电路集成为一个整体的技术。所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。

分类:

MEMS传感器的种类有很多,其中主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。而MEMS环境传感器还可细分为气体、温度和湿度传感器等。MEMS温度传感器可用于任何需要检测温度的地方。MEMS湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。

精讯畅通的MEMS气体传感器是利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板的一款气体检测仪器,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时,传感器电导率发生变化,该气体的浓度越高,MEMS气体传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

MEMS气体传感器.png

优点:

相对于传统的机械,它们的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米,其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料,电气性能优良,硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度与铝类似,热传导率接近钼和钨。采用与集成电路(IC)类似的生成技术,可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺,进行大批量、低成本生产,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

应用:

MEMS传感器作为获取信息的关键仪器,对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。

随着电子技术的发展,MEMS的应用领域越来越广泛,由最早的工业、军用航空应用走向普通的消费市场。 军用与航空属于所谓的高价值MEMS应用领域,但是这两个领域的用量太小了,一年也就四千万美金左右,增长空间也是有限的。医疗电子上的MEMS器件价值也不错,它的传感器的平均销售价格远高于其它可比的MEMS领域。总体来看,一年高价值MEMS产业的营业收入将达到3亿美元左右。但是应用最广泛的当属于汽车电子产业和消费电子应用市场,这两大领域占了MEMS传感器市场的60%以上。


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